Дар якҷоягӣ бо бартариҳои ҳамаҷонибаи маводҳои анъанавии субстратҳои Al2O3 ва BeO, сафолии нитриди алюминий (AlN), ки дорои гузаронандагии гармии баланд (гузаронандагии гармии назариявии монокристалл 275 Вт/м▪к, гузаронандагии гармии назариявии поликристалл 70~210 Вт/м▪к), доимии диэлектрикии паст, коэффитсиенти васеъшавии гармӣ, ки бо кремнийи яккристаллӣ мувофиқат мекунад ва хосиятҳои хуби изолятсияи электрикӣ мебошад, маводи беҳтарин барои субстратҳои схемавӣ ва бастабандӣ дар саноати микроэлектроника мебошад. Он инчунин маводи муҳим барои ҷузъҳои керамикаи сохтории ҳарорати баланд аз сабаби хосиятҳои хуби механикӣ, хосиятҳои гармӣ ва устувории кимиёвӣ мебошад.
Зичии назариявии AlN 3.26г/см3, сахтии MOHS 7-8, муқовимати ҳарорати хонагӣ аз 1016Ωm зиёд ва васеъшавии гармӣ 3.5×10-6/℃ (ҳарорати хонагӣ 200℃) аст. Сафолҳои холиси AlN беранг ва шаффофанд, аммо онҳо рангҳои гуногун ба монанди хокистарӣ, сафеди хокистарранг ё зарди равшан доранд, ки аз сабаби ифлосӣ мебошанд.
Илова бар гузаронандагии баланди гармӣ, сафолҳои AlN инчунин бартариҳои зеринро доранд:
1. Изолятсияи хуби барқӣ;
2. Коэффисиенти васеъшавии гармии монанд бо монокристалли кремний, ки аз маводҳо ба монанди Al2O3 ва BeO бартарӣ дорад;
3. Қувваи баланди механикӣ ва қувваи монанд ба хамшавӣ бо сафолҳои Al2O3;
4. Доимии диэлектрикии мӯътадил ва талафоти диэлектрикӣ;
5. Дар муқоиса бо BeO, гузаронандагии гармии сафолҳои AlN камтар аз ҳарорат, махсусан аз 200℃ болотар, таъсир мегирад;
6. Муқовимат ба ҳарорати баланд ва муқовимат ба зангзанӣ;
7. Заҳрнок нест;
8. Дар саноати нимноқилҳо, саноати металлургияи кимиёвӣ ва дигар соҳаҳои саноатӣ татбиқ карда шавад.
Вақти нашр: 14 июли соли 2023