Эффектори охири керамикӣ бо рӯйпӯши тефлонӣ – сатҳи часпакнашаванда барои коркарди вафли ҳассос
Эффектори охири сафолии бо пӯшонидашудаи тефлон (PTFE) аз St.Cera як субстрати алюминийи баландқувватро бо пӯшиши якхела ва камсуръати PTFE (ғафсӣ 15-30 мкм) муттаҳид мекунад. Пӯшиш коэффитсиенти хеле пасти соиш (≤0.1), муқовимати аълои кимиёвӣ ва хосиятҳои часпакнашавандаро таъмин мекунад, ки аз часпиши вафл пешгирӣ мекунад ва ифлосшавии пуштро бартараф мекунад. Субстрати сафолии зеризаминӣ (99.8% Al₂O₃) қувваи баланди хамшавӣ (361-1000 МПа), муқовимати фарсудашавӣ ва устувории гармиро то 260°C (ҳадди пӯшиш) пешниҳод мекунад. Ин эффектори ниҳоӣ барои коркарди вафлҳои нозук, тунук ё часпак (масалан, пас аз пӯшонидани фоторезистӣ ё равандҳои кимиёвӣ) беҳтарин аст.
Мушаххасот (дар асоси 99.8% Al₂O₃ субстрат бо рӯйпӯши PTFE):
| Амвол | Арзиш |
| Маводи зеризаминӣ | 99.8% алюминий (равғани устухонӣ) |
| Маводи рӯйпӯшкунӣ | PTFE (Тефлон) |
| Ғафсии рӯйпӯш | 15–30 мкм |
| Коэффитсиенти соиш (пӯшонидашуда) | ≤0.1 |
| Қувваи хамшавии субстрат (Al₂O₃) | 361 МПа |
| Сахтии субстрат (Al₂O₃) | 16 ГПа |
| Зичии субстрат | 3.93 г/см³ |
| Ҳарорати максималии корӣ (ҳадди пӯшиш) | 260°C |
| Ноҳамвории сатҳ (пеш аз пӯшиш) | Ra ≤0.4 мкм |
| Қувваи диэлектрикӣ (субстрат) | 15×10⁶ В/м |
Эзоҳ: Пӯшиши PTFE ҳарорати ҳадди аксарро то 260°C маҳдуд мекунад; барои истифода дар ҳарорати баландтар, рӯйпӯшҳои керамикӣ ё дигар рӯйпӯшҳои бепӯшро баррасӣ кунед.
Барномаҳо:
- · Коркарди пластинаҳо пас аз пӯшонидани фоторезистӣ (сатҳҳои часпанда)
- · Интиқоли вафлиҳои тунук ё нозук (пешгирии часпидан)
- · Асбобҳои санҷиши нимноқилҳо ва метрология
- · Автоматикунонии утоқи тозакунӣ, ки дар он ифлосшавии зарраҳо бояд ба ҳадди ақал расонида шавад
Раванди истеҳсолӣ:
Субстрати сафолӣ бо синтеризатсия ва хокаи дақиқ → ноҳамвории сатҳ (каноркунии плазмавӣ ё таркиши рег) → рӯйпӯши пошидани PTFE → сахткунии гармӣ дар 380°C → санҷиши ниҳоӣ. Ҳар як эффектори ниҳоӣ аз рӯи ғафсии рӯйпӯш (ҷараёни гирдбод), часпидан (озмоиши буриши салибӣ ASTM D3359) ва коэффитсиенти соиш тафтиш карда мешавад.
Назорати сифат:
Санҷиши 100% визуалӣ барои сӯрохиҳои сӯзанӣ ё ҳубобчаҳо; якрангии ғафсии рӯйпӯш дар ҳудуди ±5 мкм; пас аз санҷиши хамшавии 90° дар купони шоҳидӣ деламинатсия вуҷуд надорад. Санҷиши андозагирӣ ба таҳаммулпазирии OEM (дарозӣ ±0.05 мм, ҳамворӣ ≤0.1 мм).
Афзалиятҳо нисбат ба рӯйпӯшҳои бепӯш ё дигар пӯшишҳо:
- · Сатҳи часпакнашаванда аз часпидан ва шикастани вафл пешгирӣ мекунад
- · Коэффисиенти пасттарини соиш дар байни рӯйпӯшҳои сафолӣ
- · Муқовимати аълои кимиёвӣ (кислотаҳо, асосҳо, ҳалкунандаҳо)
- · Тавлиди зарраҳоро тавассути пешгирии интиқоли мавод коҳиш медиҳад
Маҳдудиятҳо (шарҳҳо дар бораи инҳирофи мавод):
Рӯйпӯши PTFE аз ҷадвалҳои хосиятҳои мавод (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) гирифта нашудааст. Хусусиятҳои субстрат қатъиян ба варақаи маълумотии додашуда (99.8% Al₂O₃) мувофиқат мекунанд. Хусусиятҳои рӯйпӯш ба мушаххасоти стандартии саноатии PTFE асос ёфтаанд, зеро ягон маълумоти рӯйпӯш пешниҳод нашудааст. Барои барномаҳое, ки аз 260°C зиёданд, эффектори охири керамикии пӯшониданашуда тавсия дода мешавад.*
Фармоишдиҳӣ:
Дар дарозии 150-1500 мм, шаклҳои нӯг (дастаки канорӣ, Бернулли, ҳамвор), нақшаҳои фланҷҳои васлкунӣ мувофиқи расми OEM дастрасанд. Пӯшонидани қисман (танҳо ҷойҳои тамос) ё пӯшонидани пурра ихтиёрӣ.
Барои санҷиши часпакӣ ва соиш намуна дархост кунед.
