Ҳалқаи изолятсияи PVD аз алюминий барои системаҳои ҷойгиркунии буғи физикӣ
Ҳалқаи изолятсияи PVD-и St.Cera аз 99.8% алюминийи баландсифат (Al₂O₃) барои истифода дар системаҳои буғгузории физикӣ (PVD) истеҳсол карда мешавад. Ҳалқа изолятсияи электрикиро байни ҷузъҳои камера таъмин мекунад, аз пайдоиши камон пешгирӣ мекунад ва кори устувори плазмаро таъмин мекунад. Хусусиятҳои асосӣ инҳоянд: қувваи баланди диэлектрикӣ (15 × 10⁶ V/m), муқовимати мушаххас >10¹⁴ Ω·mm²/m ва устувории гармӣ то 1600°C. Қобилиятҳои коркарди дақиқи мо ба диаметрҳои берунӣ то 600 мм, диаметрҳои дарунӣ то 0.2 мм, ҳамвории 0.003 мм ва сатҳи Ra0.1 мерасад. Сӯрохии сифрӣ ва инертии кимиёвии ҳалқа эътимоднокии дарозмуддатро дар муҳитҳои хашмгини пошидан таъмин мекунанд.
Мушаххасот (дар асоси 99.8% Al₂O₃ва имкониятҳои истеҳсолии St.Cera):
| Амвол | Арзиш |
| Мавод | 99.8% алюминий (равғани устухонӣ) |
| Зичӣ | 3.93 г/см³ |
| Қувваи хамшавӣ | 361 МПа |
| Сахтии Викерс | 16 ГПа |
| Қувваи диэлектрикӣ | 15×10⁶ В/м |
| Муқовимати мушаххас | >10¹⁴ Ω·мм²/м |
| Диаметри берунии максималӣ | 600 мм |
| Диаметри дарунии ҳадди ақал | 0.2 мм |
| Ғафсии максималӣ | 100 мм |
| Ҳамворӣ | 0.003 мм |
| Параллелизм | 0.002 мм |
| Ранги рӯйпӯш | Ra0.1 |
| Ҳарорати максималии корӣ | 1600°C |
Барномаҳо:
- · Изоляторҳои плитаи пуштибонии мақсаднок дар системаҳои PVD
- · Изоляторҳои гузариши камера
- · Изоляторҳои ҳалқавии сипарӣ дар системаҳои пошидани
- · Изолятсияи баландшиддат дар камераҳои плазмавӣ
Дақиқии истеҳсолӣ:
Консентратсия: 0.01 мм, мудавварӣ: 0.002 мм, ростӣ: 0.005 мм, перпендикулярӣ: 0.005 мм, аз ҷониби CMM тасдиқ карда шудааст.
AАфзалиятҳо нисбат ба изоляторҳои полимерӣ:
- · Ба ҳарорати 1600°C дар муқоиса бо ҳадди <300°C полимер тоб меорад
- · Аз газ берун намебарояд - якпорчагии вакуумро нигоҳ медорад
- · Ба эрозияи плазма ва ҳамлаи кимиёвӣ тобовар аст
Фармоишдиҳӣ:
Буришҳои фармоишӣ, хусусиятҳои васлкунӣ, профилҳои зинапоя ва тарҳҳои сершумори ҳалқаҳои консентрикӣ дастрасанд.
