Чаки чангкашаки алюминий барои майда кардан ва майда кардани дақиқ
Патрони вакуумии алюминийи St.Cera аз 99.8% Al₂O₃ бо тозагии баланд бо чуқурчаҳои вакуумии бо дақиқ коркардшуда истеҳсол карда мешавад. Қобилияти суфтакунии дақиқи мо ба ҳамвории 0.003 мм ва параллелизми 0.002 мм ноил мегардад, ки ҳангоми буридан, суфтакунӣ аз тарафи дигар ва санҷиш мустаҳкамкунии вафли бе каҷшавиро таъмин мекунад. Мавод қувваи баланди хамшавӣ (361 МПа), сахтӣ (16 ГПа) ва устувории гармиро то 800°C пешниҳод мекунад. Дар форматҳои мудаввар то диаметри берунии 600 мм (OD) ва шаклҳои росткунҷа то дарозии 1500 мм дастрас аст. Чуқурчаҳои вакуумӣ барои мувофиқат ба талаботи мушаххаси раванд тарҳрезии фармоишӣ (нақшҳои консентрикӣ, радиалӣ ё шабакавӣ) доранд. Ҳар як патрони бо интерферометри лазерӣ тафтиш карда мешавад ва бо гузориши тасдиқи ҳамворӣ таъмин карда мешавад.
Мушаххасот (дар асоси 99.8% Al₂O₃ва имкониятҳои истеҳсолии St.Cera):
| Амвол | Арзиш |
| Мавод | 99.8% алюминий (равғани устухонӣ) |
| Зичӣ | 3.93 г/см³ |
| Қувваи хамшавӣ | 361 МПа |
| Сахтии Викерс | 16 ГПа |
| Диаметри берунӣ (ҳадди аксар) | 600 мм |
| Ғафсӣ (ҳадди аксар) | 100 мм |
| Дарозӣ (ҳадди аксар) | 1500 мм |
| Ҳамворӣ | 0.003 мм |
| Параллелизм | 0.002 мм |
| Ранги рӯйпӯш | Ra0.1 |
| Ҳарорати максималии корӣ | 800°C |
Барномаҳо:
- · Реза кардан ва буридани вафли (200мм/300мм ва калонтар)
- · Суфта кардани вафлиҳои тунук аз тарафи пушт
- · Санҷиши оптикӣ ва зондкунӣ
- · Коркарди калони субстрат
Дақиқии истеҳсолӣ:
- · Ростӣ: 0.005 мм
- · Перпендикулярӣ: 0.005 мм
- · Мудавварӣ: 0.002 мм
- · Консентратсия: 0.01 мм
