Чанки чангкашаки сӯрохидори SiC бо пушти металл барои коркарди вафли каҷ ва тунук
Патрони вакуумии сафолии дар асоси металлӣ истеҳсолшудаи St.Cera қабати сафолии карбиди силиконии сӯрохдор (SiC)-ро бо пойгоҳи металлии дақиқ коркардшуда (алюминий ё пӯлоди зангногир) муттаҳид мекунад. Маводи SiC сӯрохдор (кабуд-сиёҳ, сӯрохнокӣ 35-40%, андозаи сӯрох 20-30 мкм, гузариш 60 мл/см²·дақ) тақсимоти якхела ва нарми вакуумро дар тамоми сатҳи вафл таъмин мекунад, аломатҳои канорро аз байн мебарад ва дастгирии ғайритамосро барои вафлҳои тунук (≤100 мкм) ё каҷшуда фароҳам меорад. Қабати SiC васеъшавии пасти гармӣ (3.5×10⁻⁶/℃), устувории гармӣ то 1000°C ва қувваи мӯътадили хамшавӣ (32-35 МПа)-ро пешниҳод мекунад. Пойгоҳи металлӣ сахтии сохторӣ, васлкунии осон тавассути сӯрохиҳои риштадор ва муҳофизат аз шикастани шикастаро илова мекунад. Ин пафл барои майдакунии қафо, буридан ва коркарди вафлҳои ҳарорати баланд беҳтарин аст, ки дар он ҷо вакууми якхела ва мутобиқати гармӣ муҳим аст.
Мушаххасот (дар асоси маълумоти SiC-и сӯрохидор):
| Амвол | Арзиш |
| Маводи сафолӣ | Карбиди кремнийи сӯрохдор (SiC ≥80%) |
| Ранг | Кабуд-сиёҳ |
| Сӯрохнокӣ | 35–40% |
| Андозаи сӯрохиҳо | 20–30 мкм |
| Зичӣ | 2.1–2.3 г/см³ |
| Гузаришпазирӣ | 60 мл/см²·дақ |
| Қувваи хамшавӣ | 32–35 МПа |
| Коэффитсиенти васеъшавии гармӣ (25-1000°C) | 3.5×10⁻⁶/℃ |
| Ҳарорати максималии корӣ | 1000°C |
| Муқовимати барқӣ | 10⁻¹⁰ Ω/см (барои маълумоти додашуда, ки барои SiC сӯрохдор хос аст) |
| Маводи асосии металлӣ | Алюминий 6061 ё пӯлоди зангногир 304 (ихтиёрӣ) |
| Ғафсии пойгоҳи металлӣ | 10–30 мм (фармоишӣ) |
Эзоҳ: Мустаҳкамии хамшавӣ аз сабаби сӯрохнокӣ нисбат ба SiC-и зич пасттар аст. Хусусиятҳои асосии металлӣ аз мизҳои сафолӣ нестанд.
Барномаҳо:
- · Суфтакунии лавҳаҳои тунук аз тарафи пушт (≤100 мкм)
- · Васлкунии вафли каҷ барои буридан
- · Партофтани вафли бо ҳарорати баланд (то 1000°C)
- · Арматураи чангкашак барои субстратҳои сӯрохдор ё нозук
Истеҳсолот:
Пластинаи SiC сӯрохдор (бо истифода аз сӯрохкунакҳо сохта шудааст, пухта шудааст) → то ҳамвории ≤10 мкм часпонида шудааст → асоси металлӣ бо портҳои вакуумӣ ва хусусиятҳои васлкунӣ коркард шудааст → пайванди эпоксидӣ ё фишурдани механикӣ → озмоиши ихроҷи гелий.
Назорати сифат:
- · Сӯрохӣ ва андозаи сӯрохиҳо аз ҷониби SEM тасдиқ карда шудаанд
- · Санҷиши гузариш (ҷараёни ҳаво)
- · Ҳамворӣ бо истифода аз интерферометри лазерӣ чен карда мешавад
- · Суръати ихроҷи гелий <1×10⁻⁹ Па·м³/с
Афзалиятҳо нисбат ба чӯбҳои керамикии чуқуршакл ё зич:
- · Аломати вафлӣ вуҷуд надорад - чангкашаки якхела бидуни сӯрохиҳои алоҳида
- · Худтозакунии сӯрохиҳо - кам кардани бандшавӣ
- · Вафлиҳои каҷшударо идора мекунад (то камони 500 мкм)
- · Пойгоҳи металлӣ аз шикастани шикаста пешгирӣ мекунад ва ҳамгироиро содда мекунад
Маҳдудиятҳо:
- · Қувваи пасти хамшавӣ (32–35 МПа) – аз боркунии зарбаӣ худдорӣ кунед
- · Ҳарорати корӣ то 1000°C (SiC сӯрохдор) маҳдуд аст, аммо пайванди эпоксидии асоси металлӣ то ≤200°C маҳдуд аст, агар ба таври механикӣ маҳкам карда нашавад.
- · Барои вакууми фишори баланд нест (сохтори сӯрохдор фарқияти максималии вакуумро маҳдуд мекунад)
Фармоишдиҳӣ:
- · Асоси металлӣ: алюминий (сабук), пӯлоди зангногир (ба зангзанӣ тобовар), Invar (васеъшавии кам)
- · Пайвасткунӣ: эпоксидӣ (≤200°C) ё фишанги механикӣ (то 500°C)
- · Ҳалқаи мӯҳркунии канорӣ барои назорати вакуумии минтақавӣ
Лутфан таваҷҷӯҳ намоед: Мустаҳкамии хамшавии додашуда (32–35 МПа) аз сабаби сӯрохнокӣ нисбат ба сафолии зич хеле пасттар аст. Боэҳтиёт кор кунед, то аз шикастани канорҳо пешгирӣ кунед.
