Чаки вакуумии 12-дюймаи алюминий барои коркарди вафли 300 мм
Патрони вакуумии 12-дюймаи St.Cera аз алюминийи 99.8% бо тозагии баланд (Al₂O₃) барои коркарди вафли 300 мм бо дақиқӣ сохта шудааст. Патрон дорои сатҳи чуқурчадор (паҳнои чуқурча 0.5-1.0 мм, қадами 2-3 мм) мебошад, то тақсимоти якхелаи вакуумро дар тамоми диаметри 300 мм таъмин намояд. Ҳамворӣ дар давоми 5 мкм нигоҳ дошта мешавад, ки имкон медиҳад, ки вафли бидуни каҷшавӣ ҳангоми буридан, майдакунӣ ва санҷиш мустаҳкам карда шавад. Қувваи баланди хамшавӣ (361 МПа) ва сахтии (16 ГПа) мавод ҳатто дар давраи такрории вакуум устувории андозагирии дарозмуддатро кафолат медиҳад.
Мушаххасот (дар асоси 99.8% Al₂O₃):
| Амвол | Арзиш |
| Диаметр | 300 мм (12 дюйм) |
| Мавод | 99.8% алюминий (равғани устухонӣ) |
| Зичӣ | 3.93 г/см³ |
| Қувваи хамшавӣ | 361 МПа |
| Сахтии Викерс | 16 ГПа |
| Ҳамворӣ (зиёда аз 300 мм) | ≤5 мкм |
| Паҳнои чуқурча | 0.5–1.0 мм |
| Ҳарорати максималии корӣ | 800°C |
| Қувваи диэлектрикӣ | 15×10⁶ В/м |
Барномаҳо:
Буридан ва навиштани вафли 300 мм
Суфтакунии пушти вафл (пушти тунуки вафл)
Санҷиши оптикӣ ва зондкунӣ
Чакҳои пайвасткунии муваққатӣ/аз байн бурдани пайванд
Истеҳсолот:
CNC бо роҳи оҳанкунӣ ва дӯхтани чӯб то ҳамвории ниҳоӣ анҷом дода мешавад, бо чархҳои алмосӣ чуқурча карда мешавад, бо роҳи ултрасадо тоза карда мешавад ва дар утоқи тозаи синфи 100 бастабандӣ карда мешавад. Ҳар як патрон 100% аз ҷиҳати ҳамворӣ (интерферометри лазерӣ) ва чуқурии чуқурча (профилометр) тафтиш карда мешавад.
Бартариҳо:
Ташаккули ками зарраҳо (≤0.05 зарра/см²)
Аз ҷиҳати кимиёвӣ ба ҳалкунандаҳо ва кислотаҳо бетаъсир аст
Сатҳи бехатар барои ESD (муқовимат >10¹³ Ω·cm)
Нақшаҳои фармоишии сӯрохиҳои вакуумӣ ва портҳои қафо дастрасанд.
