Ҳалқаи сафолии алюминийи тозаи баланд барои камераҳои коркарди CVD/PVD
Ҳалқаи сафолии St.Cera махсусан барои истифода дар камераҳои коркарди CVD (Чопкунии буғи кимиёвӣ) ва PVD (Чопкунии буғи физикӣ) тарҳрезӣ шудааст. Ин ҳалқа, ки аз 99,8% алюминийи тозаи баланд (Al₂O₃) истеҳсол шудааст, ҳамчун қабати камера, ҳалқаи фокусӣ ё ҷузъи маҷмӯаи коркард барои маҳдуд кардани плазма ва муҳофизат кардани деворҳои камера аз эрозия хизмат мекунад. Мавод муқовимати аълои плазма, қувваи баланди диэлектрикӣ (15 × 10⁶ V/m) ва устувории гармӣ то 1600°C-ро пешниҳод мекунад ва мӯҳлати хизмати дарозро дар муҳитҳои плазмаи хашмгини фтор таъмин мекунад. Таҳаммулпазирии дақиқи андозагирӣ (±0,05 мм дар ID/OD) ва ҳамворӣ (≤10 μm) имкон медиҳад, ки канори вафл мунтазам ҷойгир карда шавад, якрангии чопкуниро беҳтар кунад ва пайдоиши зарраҳоро кам кунад.
Хусусиятҳо (дар асоси 99.8% Al₂O₃):
| Амвол | Арзиш |
| Мавод | 99.8% алюминий (равғани устухонӣ) |
| Зичӣ | 3.93 г/см³ |
| Ҷабби об | 0% |
| Қувваи хамшавӣ | 361 МПа |
| Мустаҳкамии шикастагӣ | 3–4 МПа·м¹/² |
| Сахтии Викерс | 16 ГПа |
| Модули Янг | 380 ГПа |
| Гузаронидани гармӣ | 32 Вт/м·к |
| Васеъшавии гармӣ (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Қувваи диэлектрикӣ | 15×10⁶ В/м |
| Муқовимати мушаххас | >10¹⁴ Ω·см |
| Ҳарорати максималии корӣ | 1600°C |
Барномаҳо:
- · Ҳалқаҳои фокуси камераи CVD ва ҳалқаҳои канорӣ
- · Ҳалқаҳои сипари камераи PVD ва ҳалқаҳои фишанг
- · Ҳалқаҳои рӯйпӯш ва пӯшиши камераи кандакорӣ
- · Ҳалқаҳои маҳдудкунандаи плазма дар системаҳои кандакории диэлектрикӣ
Раванди истеҳсолӣ:
Пресскунии изостатикӣ → коркарди сабз → пухтан дар ҳарорати 1600°C → Суфтакунии CNC ID/OD → лағжонидани сатҳ → тозакунии ултрасадоӣ → санҷиши 100% CMM. Рангкунии сатҳи ултра ҳамвор (Ra ≤0.4 μm) часпиши зарраҳоро ба ҳадди ақалл мерасонад.
Назорати сифат:
- · Санҷиши 100% андоза (ID, OD, ғафсӣ, ҳамворӣ)
- · Санҷиши сӯрохи ранг барои микротарқишҳои сатҳӣ
- · Санҷиши қувваи диэлектрикӣ мувофиқи ASTM D149
- · Дар зери микроскопи 20× тағйирёбии ранг ё сӯрохии намоён вуҷуд надорад
Афзалиятҳо нисбат ба ҳалқаҳои металлӣ ё кварсӣ:
- · 5-10 маротиба умри дарозтар аз ҳалқаҳои алюминий дар плазмаи фтор
- · Дар плёнкаҳои тунук олудагии металлӣ вуҷуд надорад
- · Муқовимати плазма нисбат ба кварс баландтар аст (чоҳҳои эрозия вуҷуд надоранд)
- · Ҳатто пас аз истифодаи дарозмуддат изолятсияи барқиро >10¹⁴ Ω·cm нигоҳ медорад
Маводи алтернативӣ — Нитриди кремний (Si)₃N₄):
Барои барномаҳое, ки ба устувории боз ҳам баландтари шикастан (6.2 МПа·м¹/²) ва муқовимати беҳтари зарбаи гармӣ (коэффитсиенти васеъшавӣ 3.2×10⁻⁶/℃) ниёз доранд, ҳалқаҳои Si₃N₄ дастрасанд. Аммо, алюминий барои аксари барномаҳои CVD/PVD аз ҷиҳати хароҷот самараноктар аст. Лутфан, ҳангоми фармоиш афзалияти маводро муайян кунед.
Фармоишдиҳӣ:
- · Сӯрохиҳои гузаранда, профилҳои зинапоядор ё сӯрохиҳои муқобил барои васлкунӣ
- · Сатҳи бо Y₂O₃ пӯшонидашуда барои муқовимати беҳтари плазма (ихтиёрӣ)
- · Рақами қисм/коди партияро бо лазер кандакорӣ кунед
Шарҳ:Маълумоти дар боло овардашуда қатъиян ба ҷадвали хосиятҳои Al₂O₃, ки дода шудааст, пайравӣ мекунад. Барои ҳалқаҳои Si₃N₄, ба варақаи иттилоотии алоҳидаи Si₃N₄ муроҷиат кунед.
