Эффектори охири керамикии силикон карбид (SiC) – Сахтии баланд барои коркарди вафли ҳарорати баланд
Эффектори охири сафолии SiC аз карбиди кремнийи тозагии баланд (миқдори SiC 99.72%, Si озод 0.05%) бо истифода аз маводи партиявии S1111 истеҳсол карда мешавад. Он хосиятҳои механикии истисноиро пешниҳод мекунад: қувваи хамшавӣ 449 МПа (чен кардашуда), модули эластикӣ 457 ГПа (чен кардашуда) ва сахтии Викерс 25-28 ГПа (маъмулӣ). Зичии паст (3.10-3.15 г/см³, маъмулӣ) сахтии хоси баландро таъмин мекунад, ки барои роботҳои интиқоли вафлии баландсуръат беҳтарин аст. Бо гузариши гармии 120-150 Вт/м·К (маъмулӣ) ва коэффитсиенти васеъшавии гармии 4.0-4.5 × 10⁻⁶/℃ (маъмулӣ), ин эффектори ниҳоӣ гармиро самаранок пароканда мекунад ва устувории андозаро ҳангоми коркарди ҳарорати баланд (то 1600-1700°C, бе бор) нигоҳ медорад. Ранги сиёҳ/хокистарӣ ва ҷабби сифрии об мутобиқати утоқи тозаро таъмин мекунад.
Мушаххасот(дар асоси гузориши санҷиши SiC S1111 ва арзишҳои маъмулӣ)):
| Амвол | Арзиш |
| Мавод | SiC (99.72% SiC, 0.05% Si Озод) |
| Ранг | Сиёҳ/Хокистарӣ |
| Зичӣ | 3.10–3.15 г/см³ |
| Ҷабби об | 0% |
| Қувваи хамшавӣ | 449 МПа (миёна) |
| Мустаҳкамии шикастагӣ | 3.12 МПа·м¹/² (миёна) |
| Модули эластикӣ | 457 ГПа |
| Сахтии Викерс | 25–28 ГПа |
| Гузаронидани гармӣ (25°C) | 120–150 Вт/м·К |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Ҳарорати максималии истифода (бе бор) | 1600–1700°C |
Барномаҳо:
● Коркарди вафли ҳарорати баланд (пас аз тафсондан, RTP, эпитаксия)
● Камераҳои кандакории плазмавӣ, ки ба муқовимати баланди эрозия ниёз доранд
● Роботҳои интиқолдиҳандаи баландсуръат (сабук ва сахтии баланд)
Истеҳсолот:
Синтези хокаи SiC → суфтакунии дақиқи CNC профили даст ва хусусиятҳои васлкунӣ → латукӯби рӯизаминӣ → тозакунии ултрасадо. Санҷиши 100% андозагирӣ ва санҷиши ихроҷи гелий барои барномаҳои вакуумӣ.
Назорати сифат:
● Санҷиши CMM аз рӯи дарозӣ, паҳнӣ ва ҳамворӣ
● Санҷиши қувваи хамшавӣ барои як партия (барои як стандарти гузориши санҷишӣ)
● Тафтиши визуалӣ дар зери микроскоп барои муайян кардани нуқсонҳои сатҳӣ
Афзалиятҳо нисбат ба алюминий ё металл:
● Модули эластикии 2 маротиба баландтар (457 дар муқоиса бо ~380 GPa барои оксиди алюминий) – каҷравии камтар
● 3 маротиба гармигузаронии баландтар – паҳншавии тезтари гармӣ
● Дар ҳаво ба >1600°C дар муқоиса бо 800°C алюминий тоб меорад
● Зичии пасттар аз пӯлод – 40% кам кардани вазн
Фармоишдиҳӣ:
Дарозӣ 150–450 мм, шаклҳои нӯг (чанги канорӣ, Бернулли, ҳамвор), нақшаҳои фланҷҳои васлкунӣ мувофиқи расми OEM.
*Ҳамаи маълумоти механикии дар боло овардашуда аз гузориши озмоишии додашуда (партияи S1111) гирифта шудаанд. Арзишҳои гармӣ ва сахтӣ барои ин синфи SiC хосанд; лутфан барои сертификатсияи партияи мушаххас бо мо тамос гиред.*
