Чаки вакуумии дар асоси карбиди силикон (SiC) барои муҳитҳои ҳарорати баланд ва плазма
Патрони сафолии St.Cera, ки дар асоси SiC кор мекунад, аз карбиди кремнийи тозагии баланд (партияи S1111, SiC 99.72%, Si озод 0.05%) истеҳсол мешавад. Он қувваи ченшудаи хамшавии 449 МПа, устувории шикастагӣ 3.12 МПа·м¹/² ва модули эластикии 457 ГПа-ро таъмин мекунад. Гузаронандагии гармии маъмулии мавод (120–150 Вт/м·К) ва васеъшавии пасти гармӣ (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) имкон медиҳад, ки ҳарорат зуд баланд шавад ва каҷшавии вафл ҳангоми даврзании гармӣ ба ҳадди ақал расад. Патронро метавон ҳамчун патрони вакуумии сӯрохдор (ҷараёни гази якхела) ё патрони стандартии чуқурдор танзим кард. Бо ҳарорати максималии истифодаи 1600–1700°C (бе бор) ва муқовимати истисноии эрозияи плазма, ин патро барои коркарди вафлҳои ҳарорати баланд (табдилдиҳӣ, RTP) ва камераҳои хашмгини коркард, ки дар онҳо патрони алюминий вайрон мешавад, беҳтарин аст.
Мушаххасот(дар асоси гузориши санҷиши SiC S1111 ва арзишҳои маъмулӣ)):
| Амвол | Арзиш |
| Мавод | SiC (99.72% SiC, 0.05% Si Озод) |
| Зичӣ | 3.10–3.15 г/см³ |
| Ҷабби об | 0% |
| Қувваи хамшавӣ | 449 МПа |
| Мустаҳкамии шикастагӣ | 3.12 МПа·м¹/² |
| Модули эластикӣ | 457 ГПа |
| Сахтии Викерс | 25–28 ГПа |
| Гузаронидани гармӣ | 120–150 Вт/м·К |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Ҳарорати максималии истифода (бе бор) | 1600–1700°C |
| Ҳамворӣ (зиёда аз 300 мм) | ≤5 мкм |
| Ранги рӯйпӯш | Ra ≤0.4 μm (дафтарча) |
Барномаҳо:
● Партофтани бо ҳарорати баланд (табдилдиҳӣ, RTP, афзоиши эпитаксиалӣ)
● Патрони кандакории плазма бо муқовимати баланди фтор
● Коркарди вафли тунук бо гармкунӣ/хунуккунии якхела
● Патрони сӯрохдор барои дастгирии вафли ғайритамосӣ
Истеҳсолот:
Синтези SiC → сайқалдиҳии дақиқи ҳамворӣ ва профили сатҳ → ташаккули сохтори сӯрохии ихтиёрӣ (барои патрони вакуумӣ) → шаппотӣ → тозакунии ултрасадо. Ҳар як патрон 100% аз ҷиҳати ҳамворӣ (интерферометри лазерӣ) ва якрангии вакуумӣ (санҷиши ҷараён) тафтиш карда мешавад.
Назорати сифат:
● Санҷиши андозаи CMM (диаметр, ғафсӣ, мавқеи сӯрохиҳо)
● Андозагирии ҳамворӣ мувофиқи ASTM
● Санҷиши ихроҷи гелий (барои патронҳои вакуумӣ)
● Тасдиқи қувваи хамшавӣ барои ҳар як партия (ба гузориши санҷишӣ истинод кунед)
Афзалиятҳо нисбат ба чӯбҳои алюминий:
● Гузаронандагии гармии баландтар (120–150 дар муқоиса бо 32 Вт/м·К барои оксиди алюминий) – интиқоли гармии 4 маротиба тезтар
● CTE-и пасттар (4.0 дар муқоиса бо 7.2×10⁻⁶/℃) – фишори гармии вафлро коҳиш медиҳад
● Муқовимати плазмавии аъло – мӯҳлати хизмати 10 маротиба дарозтар дар коркарди фтор
● Ҳарорати максималии истифода баландтар (1600°C дар муқоиса бо 800°C барои оксиди алюминий)
Фармоишдиҳӣ:
● Сатҳи сӯрохдор ё чуқурчадор
● Диаметри 100–450 мм, мудаввар ё чоркунҷа
● Ҳалқаи мӯҳркунии канорӣ ё қисмҳои вакуумии минтақавӣ
● Имконияти пуштибонии металлӣ барои васлкунии сахтии баланд
Ҳамаи маълумоти механикии дар боло овардашуда аз гузориши озмоишии додашуда (партияи S1111) гирифта шудаанд. Арзишҳои гармӣ ва сахтӣ барои ин синфи SiC хосанд. Патронҳои SiC-и сӯрохдор ба коркарди иловагӣ ниёз доранд; лутфан дар бораи мавҷудияти сӯрохии мушаххас ва андозаи сӯрохҳо маълумот гиред.
