Пластинаи тақсимоти гази алюминий барои сари души CVD/PVD
Пластинаи тақсимоти гази St.Cera (сари душ) аз сафолии 99,8% алюминийи баландсифат бо дақиқӣ коркард шудааст. Он дорои як қатор сӯрохиҳои хурд (диаметри 0,3-1,5 мм) мебошад, ки ҷараёни якхелаи газро дар сатҳи вафл ҳангоми равандҳои CVD, PVD ё ALD таъмин мекунанд. Қувваи баланди диэлектрикии плита (>15×10⁶ V/m) ва муқовимати плазма онро барои таҳшинкунии нимноқилӣ бо плёнкаи тунук муҳим мегардонад.
Мушаххасот:
| Амвол | Арзиш |
| Мавод | 99.8% Al₂O₃ ё SiC |
| Диаметр | 100 – 1500 мм (мудаввар) ё росткунҷа |
| Ғафсӣ | 5 – 20 мм |
| Диаметри сӯрох | 0.3 – 1.5 мм |
| Нақши сӯрох | Фармоишӣ (секунҷа, чоркунҷа, радиалӣ) |
| Ҳамворӣ | ≤10 мкм дар тамоми масоҳат |
| Ноҳамвории сатҳӣ | Ra ≤0.6 μm (тарафи газ) |
| Таносуби майдони кушод | 5–15% |
Барномаҳо:
Плитаҳои сари души PECVD
Инжекторҳои гази ALD
Пластинаҳои тақсимоти гази камераи коркард
Қисмҳои реактори MOCVD
Истеҳсолот:
Табақаи алюминий бо ҳамворӣ → Пармакунии CNC бо асбобҳои бо алмос пӯшонидашуда (таҳаммулпазирии мавқеи сӯрох ±0.02 мм) → тозакунии сӯрох → тозакунии ултрасадоӣ → Бастабандии синфи 100.
Назорати сифат:
Ҳар як лавҳа 100% аз рӯи андозаи сӯрохиҳо (системаи биноӣ), ҳамворӣ (интерферометри лазерӣ) ва якрангии ҷараёни газ (харитасозии фишор) тафтиш карда мешавад. Дар зери микроскопи 20x микротарқишҳо вуҷуд надоранд.
Афзалиятҳо нисбат ба плитаҳои металлӣ:
Дар плёнкаҳои тунук олудагии металлӣ вуҷуд надорад
Ташаккули камтари зарраҳо (бе пораҳои зангзанӣ)
Ба плазмаҳои тозакунандаи хашмгин (CF₄, NF₃) тобовар аст
Хусусиятҳои фармоишӣ:
Каналҳои гази қафо, сӯрохиҳои сӯрохшудаи муқобил, мӯҳрҳои канорӣ ва синфҳои гуногуни мавод (SiC барои гузаронандагии гармии баландтар, пӯшиши Y₂O₃ барои муқовимати плазма).
Мо пеш аз истеҳсол санҷиши CAD ва симулятсияи ҷараёнро пешниҳод менамоем.
