Чаки чангкашаки керамикии сӯрохдор барои коркарди вафли каҷ
Патрони сафолии сӯрохидори St.Cera аз алюминийи тозаи баланд бо сӯрохии кушодаи якхелаи 30-45% ва андозаи сӯрохиҳо аз 10 то 100 мкм сохта шудааст. Бар хилофи патрони анъанавии чуқурчадор, сатҳи сӯрохдор вакууми тақсимшударо дар тамоми қисми пуштии вафл таъмин мекунад ва вафлҳои каҷ, тунук ё ҷудошударо бе кушодани канор ё шикастани он самаранок нигоҳ медорад. Вакууми мулоим (тавассути маҳдудкунанда танзимшаванда) инчунин аз аломатгузории қисми пушти он пешгирӣ мекунад.
Мушаххасот(дар асоси 99.6% Al₂O₃):
| Амвол | Арзиш |
| Сӯрохнокӣ | 30–45% |
| Андозаи миёнаи сӯрохиҳо | 10–100 мкм (интихобшаванда) |
| Қувваи хамшавӣ | ≥250 МПа |
| Ҳамворӣ (зиёда аз 300 мм) | ≤5 мкм |
| Ранги рӯйпӯш | Лаппӯшидашуда (Ra 0.8 μm) |
| Сатҳи максималии вакуум | -80 кПа |
| Ҳарорати корӣ | 400°C (ҳавоӣ), 600°C (инертӣ) |
| Мавод | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂, ё SiC |
Барномаҳо:
Суфтакунии пушти вафли тунук (≤50 мкм)
Васлкунии вафли каҷ барои буридан
Гирифтани қолаби сингулятсионӣ аз лента
Коркарди панелҳои шишагӣ
Истеҳсол ва сифат:
Хокаи сафолӣ бо шаклдиҳандаҳои сӯрохиҳои органикӣ омехта карда мешавад → пресс карда мешавад → синтер карда мешавад → то ғафсии ниҳоӣ пӯшонида мешавад. Ҳар як патрон аз ҷиҳати якрангии вакуум (≤5% инҳироф) бо ҷараёни об санҷида мешавад ва аз ҷиҳати тақсимоти андозаи сӯрохиҳо (SEM) тафтиш карда мешавад. Ҳамворӣ бо истифода аз интерферометри лазерӣ чен карда мешавад.
Афзалиятҳо нисбат ба чӯбҳои бофташуда:
Аломати канори вафл ё тағйири қолаб вуҷуд надорад
Вафлиҳои каҷшударо нигоҳ медорад (то камони 500 мкм)
Басташавии сӯрохиҳои вакуумро бартараф мекунад
Дастгирии худҳамворкунӣ барои субстратҳои тунук
Фармоишдиҳӣ:
Шаклҳои мудаввар ё росткунҷа, андозаашон то 600 мм. Мо метавонем ҳалқаҳои мӯҳркунии канорӣ ё деворҳои вакуумии минтақавиро истифода барем. Версияҳои пушти металлӣ барои талаботи сахтии баланд дастрасанд.
Барои санҷиши андозаи вафли ва саҳифаи каҷ намуна дархост кунед.
