Эффектори охири керамикии Бернулли — Коркарди лавҳаҳои ғайритамосӣ барои лавҳаҳои тунук ва шикаста

Эффектори охири сафолии Бернулли аз St.Cera барои коркарди пластинаҳо бидуни тамос бо ҷисмонӣ аз лифтҳои аэродинамикӣ истифода мебарад. Он аз алюминийи 99.8% бо тозагии баланд (Al₂O₃) ё карбиди кремний (SiC) истеҳсол шудааст ва дорои соплоҳои дақиқ коркардшуда мебошад, ки гази фишордорро хориҷ мекунанд, то байни эффектори ниҳоӣ ва пластина як плёнкаи тунуки ҳавоӣ эҷод кунанд. Ин принсипи бетамос ифлосшавии қафо, шикастани канорҳо ва осеби сатҳро аз байн мебарад ва онро барои пластинаҳои тунук (≤100 μm), нозук ё каҷшуда беҳтарин мегардонад. Субстрати сафолӣ қувваи баланди хамшавӣ (361 МПа барои Al₂O₃; то 550–600 МПа барои SiC), массаи кам ва устувории аълои андозаро таъмин мекунад ва ҷойгиркунии такроршавандаро дар роботҳои интиқоли пластинаҳои баландсуръат таъмин мекунад.

Эзоҳ дар бораи маводҳо:Алюминий (Al₂O₃) маводи маъмултарин барои эффекторҳои охири сафолӣ дар коркарди пластинаҳои нимноқилӣ мебошад, ки ба туфайли омезиши аълои сахтӣ, изолятсияи барқӣ, устувории кимиёвӣ ва самаранокии хароҷот истифода мешавад. Карбиди кремний (SiC) барои барномаҳои аз ҳама серталаб гузаронандагии гармии баландтар, сахтии баландтар ва ҳатто муқовимати беҳтари фарсудашавиро пешниҳод мекунад. Дар ҳоле ки цирконийи бо иттрия устуворшуда (ZrO₂) дар ҳарорати хонагӣ устувории баланди шикастанро пешниҳод мекунад, он дар ин барнома аз сабаби зичии баландтар ва хусусиятҳои гуногуни васеъшавии гармӣ камтар истифода мешавад; онро барои сенарияҳои мушаххасе, ки устувории истисноии шикастан лозим аст, баррасӣ кардан мумкин аст. Лутфан, барои роҳнамоии интихоби мавод бо дастаи техникии мо машварат кунед.

Мушаххасот(дар асоси 99.8% Al₂O₃):

Принсипи фаъолият:

Ҳавои фишурдашуда ё нитроген (0,2-0,6 МПа) тавассути каналҳои дохилӣ таъмин ва тавассути соплоҳои дақиқ берун мешавад. Ҷараёни ҳавои суръатбахш минтақаи фишори пастро дар болои эффектори ниҳоӣ (эффекти Бернулли) эҷод мекунад ва қувваи бардорандаеро ба вуҷуд меорад, ки пластинаро дар фосилаи 50-200 мкм дастгирӣ мекунад. Ҳеҷ сӯрохиҳои вакуумӣ ё болиштҳо бо тарафи қафои пластина тамос намегиранд.

Барномаҳо:

• · Коркарди вафли тунук (≤50 мкм) пас аз майдакунии пушт
• · Интиқоли вафли каҷ (масалан, пас аз CVD ё гармкунӣ)
• · Интиқоли субстрати сапфири батареяи офтобӣ ва LED
• · Автоматикунонии утоқи тозакунӣ, ки тавлиди зарраҳои сифрро талаб мекунад
• · Коркарди панелҳои шишагӣ дар истеҳсоли намоиш

Раванди истеҳсолӣ:

Субстрати сафолӣ аз хокаи тозагии баланд пухта шудааст → Коркарди 5-меҳварии CNC-и каналҳои газ ва сӯрохиҳои сопло (диаметри 0.3–1.0 мм, таҳаммулпазирӣ ±0.01 мм) → латукӯби сатҳӣ то Ra ≤0.4 μm → тозакунии ултрасадоӣ → озмоиши ихроҷи гелий (каналҳои газ). Пӯшиш лозим нест — сатҳи сафолии луч аз ҷиҳати кимиёвӣ инертӣ ва ифлоснашаванда аст.

Назорати сифат:

• · Санҷиши 100% андозагирӣ (CMM)-и мавқеъҳои сопло, дарозии даст ва ҳамворӣ
• · Санҷиши якрангии ҷараёни ҳаво: коҳиши фишор ≤5% дар тамоми соплоҳо
• · Санҷиши ихроҷ: каналҳои газ бо фишори 0.6 МПа мӯҳр карда шудаанд, бе паст шудани фишор дар тӯли 30 сония
• · Санҷиши визуалӣ дар зери микроскопи 20× барои муайян кардани тарқишҳо ё сӯрохҳо

AАфзалиятҳо нисбат ба эффекторҳои тамосии анъанавӣ:

• · Сифр олудагии пушти вафл — бе тамос бо механикӣ
• · Кашидани канор ё шикастани вафли тунук вуҷуд надорад
• · Вафлиҳои каҷшударо (то камони 1 мм) бо фосилаи устувор идора мекунад
• · Нигоҳубини генератори вакуумӣ ва патрони сӯрохдорро бартараф мекунад
• · Сохти керамикӣ ба фарсудашавӣ ва ҳамлаи кимиёвӣ тобовар аст

Фармоишдиҳӣ:

• · Барои андозаҳои вафлии 200 мм, 300 мм ё фармоишӣ дастрас аст
• · Нақшаҳои соплоҳои газ: намудҳои рост, кунҷӣ ё гирдбодӣ
• · Маводҳо: алюминий (стандартӣ) ё карбиди кремний (барои баландтарин гузаронандагии гармӣ ва муқовимати фарсудашавӣ)
• · Дарозии даст, фланҷи васлкунӣ ва ҷойгиршавии порти газ мувофиқи расми OEM

Маҳдудиятҳо:

Татбиқи принсипи Бернулли (тарҳи сопло, фосилаи ҳаво) аз доираи ҷадвалҳои хосиятҳои маводҳои пешниҳодшуда берун аст. Хусусиятҳои механикӣ ва гармии дар боло овардашуда ба таври қатъӣ ба варақаҳои додашуда барои 99.8% Al₂O₃ мувофиқат мекунанд. Дар асоси ин хосиятҳои мавод, паст шудани самаранокии ҷараёни гази сафолӣ таҳти фишор интизор нест. Барои пластинаҳои ҳассос ба ҷараёни газ (масалан, MEMS бо сохторҳои нозук), фишори газ ва тарҳи сопло бояд мувофиқан танзим карда шавад.