Ҳалқаи фокусии камераи алюминийи покиза барои системаҳои плазмавии коркард ва CVD

Ҳалқаи фокусии камераи St.Cera як ҷузъи муҳими маҷмӯаи равандҳо мебошад, ки дар кандакории плазмавӣ, CVD ва таҷҳизоти нимноқилҳои PVD истифода мешавад. Ҳалқа, ки аз 99.8% алюминийи баландсифат (Al₂O₃) истеҳсол шудааст, канори вафлиро иҳота мекунад, то плазмаро маҳдуд кунад ва тақсимоти кунҷии ионҳоро беҳтар созад ва бо ин васила якрангии кандакориро дар сатҳи вафли беҳтар созад. Мавод муқовимати истисноии плазма, қувваи баланди диэлектрикӣ (15 × 10⁶ V/m) ва устувории гармиро то 1600°C пешниҳод мекунад, ки эътимоднокии дарозмуддатро дар муҳитҳои плазмаи хашмгини фтор ё хлор таъмин мекунад. ID/OD-и дақиқ ва ҳамворӣ (≤10 μm) имкон медиҳад, ки ҷойгиркунии дақиқи канори вафлиро таъмин намуда, нуқсонҳои канор ва пайдоиши зарраҳоро кам кунад.

Мушаххасот(дар асоси 99.8% Al₂O₃):

Барномаҳо:

• · Ҳалқаҳои фокусии камераи кандакории диэлектрикӣ (оксид, кандакории нитрид)
• · Ҳалқаҳои канори камераи кандакории силикон
• · Ҳалқаҳои маҷмӯаи коркарди камераи CVD
• · Сипар ва ҳалқаҳои фишанги камераи PVD

Раванди истеҳсолӣ:

Хокаи алюминийи тозаи баланд бо роҳи изостатикӣ пахш карда мешавад → коркарди сабз то шакли қариб ба шабака → дар ҳарорати 1600°C пухта мешавад → суфтакунии алмос бо CNC аз ID, OD ва ғафсӣ → шаппотӣ барои ноил шудан ба ҳамвории ≤10 μm → тозакунии ултрасадоӣ → санҷиши 100% CMM. Ранги рӯизаминӣ Ra ≤0.4 μm часпиши зарраҳоро ба ҳадди ақалл мерасонад.

Назорати сифат:

• · Санҷиши 100% андозагирӣ (ID, OD, ғафсӣ, параллелизм)
• · Санҷиши воридшавии ранг барои микротарқишҳо (тарқишҳо иҷозат дода намешаванд)
• · Санҷиши визуалӣ дар зери микроскопи 20× — бе пора, холӣ ё тағйирёбии ранг
• · Санҷиши қувваи диэлектрикӣ мувофиқи ASTM D149 (намунгирӣ)

Афзалиятҳо нисбат ба ҳалқаҳои фокусии силикон ё кварц:

• · 5-10 маротиба дарозтар дар плазмаи фторкарбон
• · Зарраҳои эрозияи истеъмолшаванда барои олуда кардани вафлиҳо вуҷуд надоранд
• · Қувваи баланди диэлектрикӣ аз пайдоиши камон пешгирӣ мекунад
• · Дар тӯли ҳазорҳо соат RF ҳамворӣ ва дақиқии андозаро нигоҳ медорад

Маводи алтернативӣ — Зирконияи бо yttria устуворшуда (ZrO₂):

Барои барномаҳое, ки ба устувории баланди шикастан ниёз доранд (масалан, камераҳо бо даври зуд-зуди гармӣ ё зарбаи механикӣ), ҳалқаҳои фокусии ZrO₂ (зичии 6.03 г/см³, қувваи хамшавӣ 1000 МПа, устувории шикастан 5–8 МПа·м¹/²) дастрасанд. Бо вуҷуди ин, оксиди алюминий самаранокии беҳтари хароҷотро пешниҳод мекунад ва стандарти соҳавӣ барои аксари барномаҳои ҳалқаҳои фокусӣ мебошад.

Фармоишдиҳӣ:

• · Профилҳои зинапояҳо, сӯрохиҳои рӯбарӯ ё сӯрохиҳои васлкунӣ мувофиқи расми муштарӣ
• · Рӯйпӯши Y₂O₃ барои муқовимати беҳтар ба эрозияи плазма (ғафсӣ 20–100 мкм)
• · Аломатгузории лазерии рақами қисм, рамзи сана ё аломатҳои ҳамоҳангсозӣ

Шарҳ:Ҳамаи маълумотҳо қатъиян ба ҷадвали хосиятҳои Al₂O₃, ки пешниҳод шудааст, мувофиқат мекунанд. Барои мушаххасоти ZrO₂, ба варақаи маълумотии цирконияи додашуда муроҷиат кунед. Тарҳҳои ҳалқаҳои фокусӣ метавонанд иҷозатномаи патентро талаб кунанд - муштариён барои тасдиқи ҳуқуқҳои моликияти зеҳнӣ масъуланд.