-
Дасти роботи керамикии алюминийи тозаи баланд барои коркарди вафлҳо
Дасти роботи сафолии алюминийи St.Cera аз 99.8% Al₂O₃ (алюминийи гилхок)-и баландсифат бо дақиқӣ сохта шудааст. Он қувваи истисноии хамшавӣ (361 МПа), сахтии баланд (16 ГПа) ва зичии паст (3.93 г/см³)-ро муттаҳид мекунад, ки дар натиҷа дастаки сабук ва дар айни замон сахт барои интиқоли вафли нимноқилӣ ба вуҷуд меояд. Коэффитсиенти васеъшавии гармии мавод (7.2×10⁻⁶/°C) бо кремний хеле наздик аст ва номувофиқати гармиро ҳангоми коркард ба ҳадди ақал мерасонад.
-
Эффектори охири керамикии Бернулли — Коркарди лавҳаҳои ғайритамосӣ барои лавҳаҳои тунук ва шикаста
Эффектори охири сафолии Бернулли аз St.Cera барои коркарди пластинаҳо бидуни тамос бо ҷисмонӣ аз лифтҳои аэродинамикӣ истифода мебарад. Он аз алюминийи 99.8% бо тозагии баланд (Al₂O₃) ё карбиди кремний (SiC) истеҳсол шудааст ва дорои соплоҳои дақиқ коркардшуда мебошад, ки гази фишордорро хориҷ мекунанд, то байни эффектори ниҳоӣ ва пластина як плёнкаи тунуки ҳавоӣ эҷод кунанд. Ин принсипи бетамос ифлосшавии қафо, шикастани канорҳо ва осеби сатҳро аз байн мебарад ва онро барои пластинаҳои тунук (≤100 μm), нозук ё каҷшуда беҳтарин мегардонад. Субстрати сафолӣ қувваи баланди хамшавӣ (361 МПа барои Al₂O₃; то 550–600 МПа барои SiC), массаи кам ва устувории аълои андозаро таъмин мекунад ва ҷойгиркунии такроршавандаро дар роботҳои интиқоли пластинаҳои баландсуръат таъмин мекунад.
-
Эффектори охири керамикӣ бо рӯйпӯши тефлонӣ – сатҳи часпакнашаванда барои коркарди вафли ҳассос
Эффектори охири сафолии бо пӯшонидашудаи тефлон (PTFE) аз St.Cera як субстрати алюминийи баландқувватро бо пӯшиши якхела ва камсуръати PTFE (ғафсӣ 15-30 мкм) муттаҳид мекунад. Пӯшиш коэффитсиенти хеле пасти соиш (≤0.1), муқовимати аълои кимиёвӣ ва хосиятҳои часпакнашавандаро таъмин мекунад, ки аз часпиши вафл пешгирӣ мекунад ва ифлосшавии пуштро бартараф мекунад. Субстрати сафолии зеризаминӣ (99.8% Al₂O₃) қувваи баланди хамшавӣ (361-1000 МПа), муқовимати фарсудашавӣ ва устувории гармиро то 260°C (ҳадди пӯшиш) пешниҳод мекунад. Ин эффектори ниҳоӣ барои коркарди вафлҳои нозук, тунук ё часпак (масалан, пас аз пӯшонидани фоторезистӣ ё равандҳои кимиёвӣ) беҳтарин аст.
