Ҳалқаи мӯҳри сафолии алюминийи тозаи баланд барои мӯҳр кардани камераҳои ҳарорати баланд
Ҳалқаи мӯҳри сафолии St.Cera ҳамчун алтернатива ба ҳалқаҳои O-полимерӣ дар муҳитҳои шадид, ки дар он эластомерҳо вайрон мешаванд, тарҳрезӣ шудааст. Ин ҳалқаи мӯҳрии сахт, ки аз 99.8% алюминийи баландсифат (Al₂O₃) истеҳсол шудааст, дар барномаҳои мӯҳрии статикӣ истифода мешавад - одатан бо прокладкаи металли нарм ё графитӣ ҷуфт карда мешавад - барои таъмини вакуум ё нигоҳдории боэътимоди газ дар ҳарорат то 800°C ва дар муҳитҳои плазма ё химиявӣ. Мавод сифр гази беруна, қувваи баланди фишурдашавӣ (қувваи асосии хамшавӣ 361 МПа) ва инертии кимиёвӣ (тобовар ба галогенҳо, кислотаҳо ва ишқорҳо ба истиснои HF) дорад. Сатҳҳои мӯҳрии дақиқ (ҳамворӣ ≤5 мкм, ноҳамвории сатҳ Ra ≤0.2 мкм) тамоси зичи шориданро бо ҷузъҳои металлӣ ё сафолии ҷуфтшуда таъмин мекунанд.
Мушаххасот(дар асоси 99.8% Al₂O₃):
| Амвол | Арзиш |
| Мавод | 99.8% алюминий (равғани устухонӣ) |
| Зичӣ | 3.93 г/см³ |
| Ҷабби об | 0% |
| Қувваи хамшавӣ | 361 МПа |
| Қувваи фишурдасозӣ (тақрибан) | >2000 МПа |
| Сахтии Викерс | 16 ГПа |
| Васеъшавии гармӣ (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Ҳарорати максималии корӣ | 800°C (ҳавоӣ), 1600°C (инертӣ) |
| Анҷоми рӯй (мӯҳркунии рӯй) | Ra ≤0.2 μm (дафтарча) |
| Ҳамворӣ (барои 25 мм) | ≤5 мкм |
| Суръати ихроҷи гелий | <1×10⁻¹⁰ Па·м³/с (бо прокладкаи мувофиқ) |
Барномаҳо:
- · Мӯҳрҳои статикии камераи раванди нимноқилҳо (CVD, PVD, etch)
- · Мӯҳрҳои дари кӯраи оташдон дар ҳарорати баланд
- · Фланжҳои интиқоли вакуумӣ
- · Баста шудани зарфҳои реактори кимиёвӣ
Раванди истеҳсолӣ:
Пресскунии изостатикӣ → пухтан дар ҳарорати 1600°C → пӯшонидани дақиқи дутарафа барои ноил шудан ба мӯҳркунии сатҳи хеле ҳамвор ва ҳамвор → каҷкунии канорҳо → тозакунии ултрасадо. Ҳар як ҳалқа 100% санҷиши ихроҷ дар детектори ихроҷи гелий бо прокладкаи стандартии металлӣ гузаронида мешавад.
Назорати сифат:
- · Санҷиши андозагирии CMM (ID, OD, ғафсӣ, параллелизм)
- · Профилометри сатҳӣ барои Ra ва мавҷнокӣ
- · Андозагирии ҳамворӣ бо истифода аз ҳамвори оптикӣ
- · Санҷиши ихроҷи гелий (усули фишордиҳии бозгашт)
Афзалиятҳо нисбат ба ҳалқаҳои O-полимерӣ:
- · Ба 800°C бар зидди <300°C барои FFKM тобовар аст
- · Сифр гази беруна — ифлосшавии муҳити вакуумӣ вуҷуд надорад
- · Ба ҳама моддаҳои кимиёвии плазма (фтор, хлор, оксиген) тобовар аст
- · Бе фишурдасозӣ ё деформатсияи доимӣ
- · Мӯҳлати хидматрасонии номаҳдуд дар муҳити тоза
Маҳдудиятҳо (Эзоҳҳои муҳим):
- · Ҳалқаи О-шакл нест— ин ҳалқаи сахти сафолӣ аст, ки барои мӯҳр кардан ба прокладкаи нарм (мис, алюминий ё графит) ниёз дорад.
- · Ҳаракати динамикӣ ё номувофиқатии калони фланҷро қабул намекунад.
- · Арзиши ибтидоии баландтар аз ҳалқаҳои O-полимерӣ, аммо мӯҳлати дарозтари истифода арзиши моликиятро коҳиш медиҳад.
- · Шикастанӣ — бо эҳтиёт кор кунед; аз зарбаи нуқтаӣ ё фишори хамшавӣ худдорӣ кунед.
Шарҳ:Маълумоти дар боло овардашуда қатъиян ба ҷадвали хосиятҳои Al₂O₃-и додашуда мувофиқат мекунад. Дар бораи маводҳои эластомерӣ ягон маълумот пешниҳод нашудааст. Ин маҳсулот ҳалқаи мӯҳри статикӣ аст, на ҳалқаи O-эластомерӣ. Лутфан тасдиқ кунед, ки оё ин ба талаботи дархости шумо мувофиқат мекунад ё не.
