-
Қисмҳои сафолии ҳалқаи сафолии дақиқи баландсифати алюминий
Қисмҳои эҳтиётии сафолӣ, ки бо пахшкунии изостатикии хунук ва пухта дар ҳарорати баланд, сипас коркарди дақиқ ва сайқалёфта ба вуҷуд омадаанд, метавонанд ба ҳама гуна талаботи қатъии таҷҳизоти нимноқил бо хусусиятҳои муқовимат ба фарсудашавӣ, муқовимат ба зангзанӣ, васеъшавии пасти гармӣ ва изолятсия ҷавобгӯ бошанд. Сафолҳо метавонанд дар бисёр намудҳои таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо бо шароити ҳарорати баланд, вакуум ё гази зангзананда барои муддати тӯлонӣ кор кунанд.
Аз хокаи алюминийи тозаи баланд сохта шудааст, ки бо пахшкунии изостатикии хунук, пухтани ҳарорати баланд ва коркарди дақиқ коркард шудааст, он метавонад ба таҳаммулпазирии андоза то ±0.001 мм, коркарди сатҳи Ra 0.1 ва муқовимати ҳарорат 1600℃ расад.
-
Таҷҳизоти нимноқилҳои фармоишии ST.CERA Чакҳои сафолӣ
Қисмҳои эҳтиётии сафолӣ, ки бо пахшкунии изостатикии хунук ва пухта дар ҳарорати баланд, сипас коркарди дақиқ ва сайқалёфта ба вуҷуд омадаанд, метавонанд ба ҳама гуна талаботи қатъии таҷҳизоти нимноқил бо хусусиятҳои муқовимат ба фарсудашавӣ, муқовимат ба зангзанӣ, васеъшавии пасти гармӣ ва изолятсия ҷавобгӯ бошанд. Сафолҳо метавонанд дар бисёр намудҳои таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо бо шароити ҳарорати баланд, вакуум ё гази зангзананда барои муддати тӯлонӣ кор кунанд.
Аз хокаи алюминийи тозаи баланд сохта шудааст, ки бо пахшкунии изостатикии хунук, пухтани ҳарорати баланд ва коркарди дақиқ коркард шудааст, он метавонад ба таҳаммулпазирии андоза то ±0.001 мм, коркарди сатҳи Ra 0.1 ва муқовимати ҳарорат 1600℃ расад.
-
Эффектори охири керамикии силикон карбид (SiC) – Сахтии баланд барои коркарди вафли ҳарорати баланд
Эффектори охири сафолии SiC аз карбиди кремнийи тозагии баланд (миқдори SiC 99.72%, Si озод 0.05%) бо истифода аз маводи партиявии S1111 истеҳсол карда мешавад. Он хосиятҳои механикии истисноиро пешниҳод мекунад: қувваи хамшавӣ 449 МПа (чен кардашуда), модули эластикӣ 457 ГПа (чен кардашуда) ва сахтии Викерс 25-28 ГПа (маъмулӣ). Зичии паст (3.10-3.15 г/см³, маъмулӣ) сахтии хоси баландро таъмин мекунад, ки барои роботҳои интиқоли вафлии баландсуръат беҳтарин аст. Бо гузариши гармии 120-150 Вт/м·К (маъмулӣ) ва коэффитсиенти васеъшавии гармии 4.0-4.5 × 10⁻⁶/℃ (маъмулӣ), ин эффектори ниҳоӣ гармиро самаранок пароканда мекунад ва устувории андозаро ҳангоми коркарди ҳарорати баланд (то 1600-1700°C, бе бор) нигоҳ медорад. Ранги сиёҳ/хокистарӣ ва ҷабби сифрии об мутобиқати утоқи тозаро таъмин мекунад.
-
Чаки вакуумии дар асоси карбиди силикон (SiC) барои муҳитҳои ҳарорати баланд ва плазма
Патрони сафолии St.Cera, ки дар асоси SiC кор мекунад, аз карбиди кремнийи тозагии баланд (партияи S1111, SiC 99.72%, Si озод 0.05%) истеҳсол мешавад. Он қувваи ченшудаи хамшавии 449 МПа, устувории шикастагӣ 3.12 МПа·м¹/² ва модули эластикии 457 ГПа-ро таъмин мекунад. Гузаронандагии гармии маъмулии мавод (120–150 Вт/м·К) ва васеъшавии пасти гармӣ (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) имкон медиҳад, ки ҳарорат зуд баланд шавад ва каҷшавии вафл ҳангоми даврзании гармӣ ба ҳадди ақал расад. Патронро метавон ҳамчун патрони вакуумии сӯрохдор (ҷараёни гази якхела) ё патрони стандартии чуқурдор танзим кард. Бо ҳарорати максималии истифодаи 1600–1700°C (бе бор) ва муқовимати истисноии эрозияи плазма, ин патро барои коркарди вафлҳои ҳарорати баланд (табдилдиҳӣ, RTP) ва камераҳои хашмгини коркард, ки дар онҳо патрони алюминий вайрон мешавад, беҳтарин аст.
-
Таҷҳизоти нимноқилҳо Қисмҳои эҳтиётии сафолӣ Интиқолдиҳандаҳои сафолӣ
Қисмҳои эҳтиётии сафолӣ, ки бо пахшкунии изостатикии хунук ва пухта дар ҳарорати баланд, сипас коркарди дақиқ ва сайқалёфта ба вуҷуд омадаанд, метавонанд ба ҳама гуна талаботи қатъии таҷҳизоти нимноқил бо хусусиятҳои муқовимат ба фарсудашавӣ, муқовимат ба зангзанӣ, васеъшавии пасти гармӣ ва изолятсия ҷавобгӯ бошанд. Сафолҳо метавонанд дар бисёр намудҳои таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо бо шароити ҳарорати баланд, вакуум ё гази зангзананда барои муддати тӯлонӣ кор кунанд.
Аз хокаи алюминийи тозаи баланд сохта шудааст, ки бо пахшкунии изостатикии хунук, пухтани ҳарорати баланд ва коркарди дақиқ коркард шудааст, он метавонад ба таҳаммулпазирии андоза то ±0.001 мм, коркарди сатҳи Ra 0.1 ва муқовимати ҳарорат 1600℃ расад.
-
Ҳалқаи суфтакунии сафолии алюминийи бо металл асосёфта барои истифода дар соҳаи дӯзандагӣ бо сахтии баланд
Ҳалқаи суфтакунии алюминийи дар асоси металли St.Cera қабати фарсудашавии сафолии алюминийи тозаи баланд (99.8% Al₂O₃)-ро бо таҳкурсии металлии дақиқ коркардшуда (одатан алюминий ё пӯлоди зангногир) муттаҳид мекунад. Ин тарҳи гибридӣ муқовимати истисноии фарсудашавӣ ва беэътиноии кимиёвии сафолиро дар сатҳи суфтакунӣ таъмин мекунад, дар ҳоле ки пойгоҳи металлӣ қувваи механикӣ, васлкунии осон ва муқовимат ба шикастани шикастаро илова мекунад. Қабати алюминий қувваи хамшавии 361 МПа, сахтии Викерс 16 ГПа ва устувории гармиро то 800°C пешниҳод мекунад. Пойгоҳи металлӣ бо сӯрохиҳои васлкунӣ, сӯзанҳои ҷойгиркунӣ ё хосиятҳои магнитӣ барои ҳамгироӣ ба мошинҳои лағжанда, суфтакунакҳои сайёраӣ ва таҷҳизоти CMP фармоишӣ карда мешавад.
-
Қисмҳои эҳтиётии сафолӣ барои таҷҳизоти истгоҳи зондҳои нимноқилӣ
Қисмҳои эҳтиётии сафолӣ, ки бо пахшкунии изостатикии хунук ва пухта дар ҳарорати баланд, сипас коркарди дақиқ ва сайқалёфта ба вуҷуд омадаанд, метавонанд ба ҳама гуна талаботи қатъии таҷҳизоти нимноқил бо хусусиятҳои муқовимат ба фарсудашавӣ, муқовимат ба зангзанӣ, васеъшавии пасти гармӣ ва изолятсия ҷавобгӯ бошанд. Сафолҳо метавонанд дар бисёр намудҳои таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо бо шароити ҳарорати баланд, вакуум ё гази зангзананда барои муддати тӯлонӣ кор кунанд.
Аз хокаи алюминийи тозаи баланд сохта шудааст, ки бо пахшкунии изостатикии хунук, пухтани ҳарорати баланд ва коркарди дақиқ коркард шудааст, он метавонад ба таҳаммулпазирии андоза то ±0.001 мм, коркарди сатҳи Ra 0.1 ва муқовимати ҳарорат 1600℃ расад.
-
Коркарди фармоишии чӯби вафли сафолии Al2O3
Қисмҳои эҳтиётии сафолӣ, ки бо пахшкунии изостатикии хунук ва пухта дар ҳарорати баланд, сипас коркарди дақиқ ва сайқалёфта ба вуҷуд омадаанд, метавонанд ба ҳама гуна талаботи қатъии таҷҳизоти нимноқил бо хусусиятҳои муқовимат ба фарсудашавӣ, муқовимат ба зангзанӣ, васеъшавии пасти гармӣ ва изолятсия ҷавобгӯ бошанд. Сафолҳо метавонанд дар бисёр намудҳои таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо бо шароити ҳарорати баланд, вакуум ё гази зангзананда барои муддати тӯлонӣ кор кунанд.
Аз хокаи алюминийи тозаи баланд сохта шудааст, ки бо пахшкунии изостатикии хунук, пухтани ҳарорати баланд ва коркарди дақиқ коркард шудааст, он метавонад ба таҳаммулпазирии андоза то ±0.001 мм, коркарди сатҳи Ra 0.1 ва муқовимати ҳарорат 1600℃ расад.
-
Таҷҳизоти нимноқилии фармоишии ST.CERA плитаи сафолӣ
Қисмҳои эҳтиётии сафолӣ, ки бо пахшкунии изостатикии хунук ва пухта дар ҳарорати баланд, сипас коркарди дақиқ ва сайқалёфта ба вуҷуд омадаанд, метавонанд ба ҳама гуна талаботи қатъии таҷҳизоти нимноқил бо хусусиятҳои муқовимат ба фарсудашавӣ, муқовимат ба зангзанӣ, васеъшавии пасти гармӣ ва изолятсия ҷавобгӯ бошанд. Сафолҳо метавонанд дар бисёр намудҳои таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо бо шароити ҳарорати баланд, вакуум ё гази зангзананда барои муддати тӯлонӣ кор кунанд.
Аз хокаи алюминийи тозаи баланд сохта шудааст, ки бо пахшкунии изостатикии хунук, пухтани ҳарорати баланд ва коркарди дақиқ коркард шудааст, он метавонад ба таҳаммулпазирии андоза то ±0.001 мм, коркарди сатҳи Ra 0.1 ва муқовимати ҳарорат 1600℃ расад.
-
Чаки вакуумии 12-дюймаи алюминий барои коркарди вафли 300 мм
Патрони вакуумии 12-дюймаи St.Cera аз алюминийи 99.8% бо тозагии баланд (Al₂O₃) барои коркарди вафли 300 мм бо дақиқӣ сохта шудааст. Патрон дорои сатҳи чуқурчадор (паҳнои чуқурча 0.5-1.0 мм, қадами 2-3 мм) мебошад, то тақсимоти якхелаи вакуумро дар тамоми диаметри 300 мм таъмин намояд. Ҳамворӣ дар давоми 5 мкм нигоҳ дошта мешавад, ки имкон медиҳад, ки вафли бидуни каҷшавӣ ҳангоми буридан, майдакунӣ ва санҷиш мустаҳкам карда шавад. Қувваи баланди хамшавӣ (361 МПа) ва сахтии (16 ГПа) мавод ҳатто дар давраи такрории вакуум устувории андозагирии дарозмуддатро кафолат медиҳад.
-
Эффектори охири сафолии алюминий бо каналҳои вакуумии ҳамгирошуда
Эффектори вакуумии оксиди алюминийи St.Cera каналҳои вакуумии бо дақиқ коркардшуда ва сӯрохиҳои макиданро мустақиман ба корпуси оксиди алюминийи 99.8% бо тозагии баланд муттаҳид мекунад. Ин тарҳ болиштҳои вакуумии берунаро аз байн мебарад ва имкон медиҳад, ки вафли мустақим бо қувваи нигоҳдории якхела гирифта шавад. Қувваи баланди хамшавӣ (361 МПа) ва сахтии (16 ГПа) мавод устувории андозагирии дарозмуддатро дар давраи такрории вакуум таъмин мекунад. Ҳамворӣ дар саросари майдони болишт дар ҳудуди 10 мкм нигоҳ дошта мешавад, ки аз фишор ва шикастани вафли пешгирӣ мекунад. Портҳои вакуумӣ дар фланҷи васлкунии қафо барои ҳамгироии осон бо дастҳои роботи OEM ҷойгир шудаанд.
-
Қисмҳои сафолии алюминийи бехатар бо ESD барои коркарди вафли ҳассос ба статикӣ
Қисмҳои сафолии бехатари алюминийи ESD (резиши электростатикӣ)-и St.Cera аз 99,8% Al₂O₃ бо тозагии баланд бо муқовимати сатҳии 10⁶–10⁹ Ω/кв истеҳсол карда мешаванд, ки тавассути раванди допинг ё рӯйпӯшкунии хусусӣ ба даст оварда мешавад. Ин қисмҳо заряди статикиро самаранок пароканда мекунанд ва аз осеби электростатикӣ ба пластинаҳо ва дастгоҳҳои ҳассоси нимноқил пешгирӣ мекунанд. Маводи асосӣ қувваи баланди хамшавӣ (361 МПа), сахтӣ (16 ГПа) ва қувваи диэлектрикии худро (15 × 10⁶ В/м) нигоҳ медорад. Қисмҳои сафолии бехатари ESD эффекторҳои ниҳоӣ, сӯзанҳои бардоранда, рельсҳои роҳнамо ва таҷҳизоти фармоишӣ барои автоматикунонии FAB-ро дар бар мегиранд.
