-
Коркарди фармоишии чӯби вафли сафолии Al2O3
Қисмҳои эҳтиётии сафолӣ, ки бо пахшкунии изостатикии хунук ва пухта дар ҳарорати баланд, сипас коркарди дақиқ ва сайқалёфта ба вуҷуд омадаанд, метавонанд ба ҳама гуна талаботи қатъии таҷҳизоти нимноқил бо хусусиятҳои муқовимат ба фарсудашавӣ, муқовимат ба зангзанӣ, васеъшавии пасти гармӣ ва изолятсия ҷавобгӯ бошанд. Сафолҳо метавонанд дар бисёр намудҳои таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо бо шароити ҳарорати баланд, вакуум ё гази зангзананда барои муддати тӯлонӣ кор кунанд.
Аз хокаи алюминийи тозаи баланд сохта шудааст, ки бо пахшкунии изостатикии хунук, пухтани ҳарорати баланд ва коркарди дақиқ коркард шудааст, он метавонад ба таҳаммулпазирии андоза то ±0.001 мм, коркарди сатҳи Ra 0.1 ва муқовимати ҳарорат 1600℃ расад.
-
Таҷҳизоти нимноқилии фармоишии ST.CERA плитаи сафолӣ
Қисмҳои эҳтиётии сафолӣ, ки бо пахшкунии изостатикии хунук ва пухта дар ҳарорати баланд, сипас коркарди дақиқ ва сайқалёфта ба вуҷуд омадаанд, метавонанд ба ҳама гуна талаботи қатъии таҷҳизоти нимноқил бо хусусиятҳои муқовимат ба фарсудашавӣ, муқовимат ба зангзанӣ, васеъшавии пасти гармӣ ва изолятсия ҷавобгӯ бошанд. Сафолҳо метавонанд дар бисёр намудҳои таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо бо шароити ҳарорати баланд, вакуум ё гази зангзананда барои муддати тӯлонӣ кор кунанд.
Аз хокаи алюминийи тозаи баланд сохта шудааст, ки бо пахшкунии изостатикии хунук, пухтани ҳарорати баланд ва коркарди дақиқ коркард шудааст, он метавонад ба таҳаммулпазирии андоза то ±0.001 мм, коркарди сатҳи Ra 0.1 ва муқовимати ҳарорат 1600℃ расад.
-
Чаки вакуумии 12-дюймаи алюминий барои коркарди вафли 300 мм
Патрони вакуумии 12-дюймаи St.Cera аз алюминийи 99.8% бо тозагии баланд (Al₂O₃) барои коркарди вафли 300 мм бо дақиқӣ сохта шудааст. Патрон дорои сатҳи чуқурчадор (паҳнои чуқурча 0.5-1.0 мм, қадами 2-3 мм) мебошад, то тақсимоти якхелаи вакуумро дар тамоми диаметри 300 мм таъмин намояд. Ҳамворӣ дар давоми 5 мкм нигоҳ дошта мешавад, ки имкон медиҳад, ки вафли бидуни каҷшавӣ ҳангоми буридан, майдакунӣ ва санҷиш мустаҳкам карда шавад. Қувваи баланди хамшавӣ (361 МПа) ва сахтии (16 ГПа) мавод ҳатто дар давраи такрории вакуум устувории андозагирии дарозмуддатро кафолат медиҳад.
-
Қисмҳои эҳтиётии сафолӣ барои таҷҳизоти нимноқилҳои зонд
Қисмҳои эҳтиётии сафолӣ, ки бо пахшкунии изостатикии хунук ва пухта дар ҳарорати баланд, сипас коркарди дақиқ ва сайқалёфта ба вуҷуд омадаанд, метавонанд ба ҳама гуна талаботи қатъии таҷҳизоти нимноқил бо хусусиятҳои муқовимат ба фарсудашавӣ, муқовимат ба зангзанӣ, васеъшавии пасти гармӣ ва изолятсия ҷавобгӯ бошанд. Сафолҳо метавонанд дар бисёр намудҳои таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо бо шароити ҳарорати баланд, вакуум ё гази зангзананда барои муддати тӯлонӣ кор кунанд.
Аз хокаи алюминийи тозаи баланд сохта шудааст, ки бо пахшкунии изостатикии хунук, пухтани ҳарорати баланд ва коркарди дақиқ коркард шудааст, он метавонад ба таҳаммулпазирии андоза то ±0.001 мм, коркарди сатҳи Ra 0.1 ва муқовимати ҳарорат 1600℃ расад.
-
Интиқолдиҳандаи таҷҳизоти нимноқилҳои плитаи сафолӣ
Қисмҳои эҳтиётии сафолӣ, ки бо пахшкунии изостатикии хунук ва пухта дар ҳарорати баланд, сипас коркарди дақиқ ва сайқалёфта ба вуҷуд омадаанд, метавонанд ба ҳама гуна талаботи қатъии таҷҳизоти нимноқил бо хусусиятҳои муқовимат ба фарсудашавӣ, муқовимат ба зангзанӣ, васеъшавии пасти гармӣ ва изолятсия ҷавобгӯ бошанд. Сафолҳо метавонанд дар бисёр намудҳои таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо бо шароити ҳарорати баланд, вакуум ё гази зангзананда барои муддати тӯлонӣ кор кунанд.
Аз хокаи алюминийи тозаи баланд сохта шудааст, ки бо пахшкунии изостатикии хунук, пухтани ҳарорати баланд ва коркарди дақиқ коркард шудааст, он метавонад ба таҳаммулпазирии андоза то ±0.001 мм, коркарди сатҳи Ra 0.1 ва муқовимати ҳарорат 1600℃ расад.
-
Таҷҳизоти нимноқилӣ Қисмҳои эҳтиётии сафолӣ
Қисмҳои эҳтиётии сафолӣ, ки бо пахшкунии изостатикии хунук ва пухта дар ҳарорати баланд, сипас коркарди дақиқ ва сайқалёфта ба вуҷуд омадаанд, метавонанд ба ҳама гуна талаботи қатъии таҷҳизоти нимноқил бо хусусиятҳои муқовимат ба фарсудашавӣ, муқовимат ба зангзанӣ, васеъшавии пасти гармӣ ва изолятсия ҷавобгӯ бошанд. Сафолҳо метавонанд дар бисёр намудҳои таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо бо шароити ҳарорати баланд, вакуум ё гази зангзананда барои муддати тӯлонӣ кор кунанд.
Аз хокаи алюминийи тозаи баланд сохта шудааст, ки бо пахшкунии изостатикии хунук, пухтани ҳарорати баланд ва коркарди дақиқ коркард шудааст, он метавонад ба таҳаммулпазирии андоза то ±0.001 мм, коркарди сатҳи Ra 0.1 ва муқовимати ҳарорат 1600℃ расад.
-
Ҳалқаи мӯҳри сафолии алюминийи тозаи баланд барои мӯҳр кардани камераҳои ҳарорати баланд
Ҳалқаи мӯҳри сафолии St.Cera ҳамчун алтернатива ба ҳалқаҳои O-полимерӣ дар муҳитҳои шадид, ки дар он эластомерҳо вайрон мешаванд, тарҳрезӣ шудааст. Ин ҳалқаи мӯҳрии сахт, ки аз 99.8% алюминийи баландсифат (Al₂O₃) истеҳсол шудааст, дар барномаҳои мӯҳрии статикӣ истифода мешавад - одатан бо прокладкаи металли нарм ё графитӣ ҷуфт карда мешавад - барои таъмини вакуум ё нигоҳдории боэътимоди газ дар ҳарорат то 800°C ва дар муҳитҳои плазма ё химиявӣ. Мавод сифр гази беруна, қувваи баланди фишурдашавӣ (қувваи асосии хамшавӣ 361 МПа) ва инертии кимиёвӣ (тобовар ба галогенҳо, кислотаҳо ва ишқорҳо ба истиснои HF) дорад. Сатҳҳои мӯҳрии дақиқ (ҳамворӣ ≤5 мкм, ноҳамвории сатҳ Ra ≤0.2 мкм) тамоси зичи шориданро бо ҷузъҳои металлӣ ё сафолии ҷуфтшуда таъмин мекунанд.
-
Ҳалқаи фокусии камераи алюминийи покиза барои системаҳои плазмавии коркард ва CVD
Ҳалқаи фокусии камераи St.Cera як ҷузъи муҳими маҷмӯаи равандҳо мебошад, ки дар кандакории плазмавӣ, CVD ва таҷҳизоти нимноқилҳои PVD истифода мешавад. Ҳалқа, ки аз 99.8% алюминийи баландсифат (Al₂O₃) истеҳсол шудааст, канори вафлиро иҳота мекунад, то плазмаро маҳдуд кунад ва тақсимоти кунҷии ионҳоро беҳтар созад ва бо ин васила якрангии кандакориро дар сатҳи вафли беҳтар созад. Мавод муқовимати истисноии плазма, қувваи баланди диэлектрикӣ (15 × 10⁶ V/m) ва устувории гармиро то 1600°C пешниҳод мекунад, ки эътимоднокии дарозмуддатро дар муҳитҳои плазмаи хашмгини фтор ё хлор таъмин мекунад. ID/OD-и дақиқ ва ҳамворӣ (≤10 μm) имкон медиҳад, ки ҷойгиркунии дақиқи канори вафлиро таъмин намуда, нуқсонҳои канор ва пайдоиши зарраҳоро кам кунад.
-
Ҳалқаи сафолии алюминийи тозаи баланд барои камераҳои коркарди CVD/PVD
Ҳалқаи сафолии St.Cera махсусан барои истифода дар камераҳои коркарди CVD (Чопкунии буғи кимиёвӣ) ва PVD (Чопкунии буғи физикӣ) тарҳрезӣ шудааст. Ин ҳалқа, ки аз 99,8% алюминийи тозаи баланд (Al₂O₃) истеҳсол шудааст, ҳамчун қабати камера, ҳалқаи фокусӣ ё ҷузъи маҷмӯаи коркард барои маҳдуд кардани плазма ва муҳофизат кардани деворҳои камера аз эрозия хизмат мекунад. Мавод муқовимати аълои плазма, қувваи баланди диэлектрикӣ (15 × 10⁶ V/m) ва устувории гармӣ то 1600°C-ро пешниҳод мекунад ва мӯҳлати хизмати дарозро дар муҳитҳои плазмаи хашмгини фтор таъмин мекунад. Таҳаммулпазирии дақиқи андозагирӣ (±0,05 мм дар ID/OD) ва ҳамворӣ (≤10 μm) имкон медиҳад, ки канори вафл мунтазам ҷойгир карда шавад, якрангии чопкуниро беҳтар кунад ва пайдоиши зарраҳоро кам кунад.
-
Чаки чангкашаки керамикии сӯрохдор барои коркарди вафли каҷ
Патрони сафолии сӯрохидори St.Cera аз алюминийи тозаи баланд бо сӯрохии кушодаи якхелаи 30-45% ва андозаи сӯрохиҳо аз 10 то 100 мкм сохта шудааст. Бар хилофи патрони анъанавии чуқурчадор, сатҳи сӯрохдор вакууми тақсимшударо дар тамоми қисми пуштии вафл таъмин мекунад ва вафлҳои каҷ, тунук ё ҷудошударо бе кушодани канор ё шикастани он самаранок нигоҳ медорад. Вакууми мулоим (тавассути маҳдудкунанда танзимшаванда) инчунин аз аломатгузории қисми пушти он пешгирӣ мекунад.
-
Чаки вакуумии керамикии сӯрохдор дар асоси алюминий барои коркарди вафли тунук
Патрони сӯрохии St.Cera, ки аз алюминий сохта шудааст, аз 99,6% Al₂O₃ бо тозагии баланд бо сӯрохии кушодаи назоратшавандаи 30-45% ва андозаи якхелаи сӯрохиҳо аз 10 то 50 мкм сохта шудааст. Бар хилофи патрони чуқурчадор, сатҳи сӯрохдор вакууми тақсимшударо дар тамоми қисми пушти вафл таъмин мекунад, ки аломатҳои канорро аз байн мебарад ва имкон медиҳад, ки вафлҳои ултра тунук (≤100 мкм) ё каҷ нигоҳ дошта шаванд. Мавод қувваи хамшавӣ ≥250 МПа ва устувории гармиро то 400°C дар ҳаво таъмин мекунад.
-
Пластинаи тақсимоти гази алюминий барои сари души CVD/PVD
Пластинаи тақсимоти гази St.Cera (сари душ) аз сафолии 99,8% алюминийи баландсифат бо дақиқӣ коркард шудааст. Он дорои як қатор сӯрохиҳои хурд (диаметри 0,3-1,5 мм) мебошад, ки ҷараёни якхелаи газро дар сатҳи вафл ҳангоми равандҳои CVD, PVD ё ALD таъмин мекунанд. Қувваи баланди диэлектрикии плита (>15×10⁶ V/m) ва муқовимати плазма онро барои таҳшинкунии нимноқилӣ бо плёнкаи тунук муҳим мегардонад.
